二手 NIKON NSR SF155 #9298590 待售

NIKON NSR SF155是一種晶圓步進器，旨在滿足先進光刻最嚴格的要求。它是一個高效的平臺，為用戶提供成本效率、過程一致性和快速的對齊精度。該工具配備了公司專利的「超級分辨率」技術和優化的劑量率檢測器，使其能夠產生最先進的納米電路模式。NSR SF155是由光刻光學模塊、曝光控制器、晶圓級和背面對準子系統組成的大型場高分辨率SEMI步進和掃描設備。該SF155提供卓越的光學性能,提供超過55%的視覺度和1.46的高數值孔徑（NA）。它還能夠提供從5微米到300毫米的廣泛曝光範圍，從而能夠使用先進的制圖工藝。該平臺采用NSR-EX曝光控制器,可提供電機控制和出色的陣列放置精度。它提供了一個靈活的幹涉對準系統，內置幹式對準單元，並提供亞納米對準精度低至10埃。該機在X軸和Y軸上的運動控制能力為5nm，掃描範圍可達200nm。光刻工具具有激光標記激光對準源，並具有3晶片自動裝載機，以提高生產率和工作效率。該資產還具有計算機集成成像軟件包,為用戶提供了廣泛的功能。平臺可以使用擴展焦點範圍、晶圓映射、5D圖像模擬等各種選項進行定制。NIKON NSR SF155還提供了支持OPC和RET數據格式的高級模式識別和線形分析模型。它還提供了最復雜的光刻應用所需的三維射線形成和線型的縫合。該設備專為高吞吐量操作而設計，具有快速掃描性能和最小的沖擊和振動。總而言之，NSR SF155是一個高效的光刻平臺，其先進的技術和性能先進的IC制造。