二手 NIKON NSR SF155 #9311227 待售

NIKON NSR SF155是一種晶圓步進器,專為高生產率和多用途的掩模對齊器而設計.步進器非常適合生產高級設備,包括MEMS、LED和傳感器,可為各種應用提供卓越的性能。NSR SF155配備了最新的NIKON GEN5光刻源和獲得專利的徑向均勻性控制設備，以確保高精度和穩定的覆蓋。它的150 mm蒙版級提供74mm max X重叠範圍，並且可以對齊一個完整的8英寸晶圓。NIKON創新的光學系統和分區單元使晶片與掩模對齊,精度≦ 15 μ m。步進器的機械定位單元以納米級精度提供最大150 mm的行程範圍，只需一次曝光即可實現基板的位置控制。NIKON NSR SF155專為高吞吐量而設計。它具有快速、高效的NIKON非對稱頻率掃描機（AFSS）,可實現一步掃描過程中的510WPH吞吐量。步進器還配備了7nm俯仰線的多軌場照明工具，以更高的分辨率曝光整體圖案。NSR SF155還設計用於可靠性和低維護。其快速門閥更換資產減少了因維護而造成的停機時間，而其獲得專利的超導體靜態消除模型減少了步進器中的汙染。它還設計有輻射屏蔽和排煙設備，以確保安全運行，同時保持潔凈的房間條件。總體而言,NIKON NSR SF155是一種先進的生產步進器,旨在在生產包括MEMS、LED和傳感器在內的高級設備時提供最佳性能。它結合了速度、精度和低維護成本，是生產線的理想選擇。