二手 NIKON NSR TFH 2 #9205047 待售

NIKON NSR TFH2是一種最先進的晶圓步進器，旨在滿足前沿半導體器件制造最苛刻的光刻要求。它提供極高分辨率、精確的舞臺運動，亞波長對準精度為0.5nm。運動設備采用帶有雙級模塊（X-Y和Z軸）的高端直線電動機，對放置運動進行精確控制。晶片級和曝光系統配備了頂級數據采集和定位組件，對晶片運動提供精細的分辨率控制。晶圓步進器由強大的可編程智能控制器驅動，提供與先進工業自動化系統的完全集成。利用強大的數據采集和融合技術,控制器可以輕松地從傳感器、機器視覺、CNC控制、視覺系統甚至3 D掃描等各種來源提取數據,從而實現跨不同制造過程的單元級優化和集成。該控制機與高性能掃描白光幹涉測量（SWLI）工具進一步集成，用於晶圓級的精確對準和定位。NSR TFH2的激光精密光束光學模塊確保光刻工藝的亞波長分辨率，而其高端離子和電子光學模塊則提供像素精確、高對比度的光刻。它支持多種光掩碼類型，包括PSM、LCD、BD和DMDM產品。此外，光學發射器模塊包括一個自適應光學校正資產，補償光路像差。此外，該設備還具有一系列柔性光譜，在廣泛的曝光波長範圍內提供優異的性能。其通用的圖像傳感器陣列提供可靠的曝光控制和出色的圖像質量控制。此外,NIKON NSR TFH 2還具有超高速數據接口,可實現更快的機器控制數據傳輸和操作,以及高帶寬連接,從而實現更快的數據通信。這有助於減少完成每項工作所需的時間,並提高吞吐量。該機器還支持一系列模式-數據類型和格式,從而更易於管理和傳輸數據。總而言之，NSR TFH2是一種超精確、功能強大的晶圓步進器，能夠以最高質量的光刻技術支持領先的半導體器件制造工藝。具有亞波長對準精度、晶圓運動精確控制、圖像質量可靠等特點。其高端光學和數據通信能力進一步增加了其吸引力。