二手 NIKON NSR TFH 2 #9206223 待售

NIKON NSR TFH 2是一種晶圓步進器，設計用於在半導體生產中執行光刻工作。它使用了一個步進和重復的光刻設備，能夠提供高精度的制造與進步inthroughput和可靠性。其緊湊的設計允許一個小的足跡與自動化軌道系統，允許晶圓級的運輸和移動。TFH2能夠處理尺寸達200毫米的基板，並具有可變數值孔徑「NA」光學單元。這使得它能夠提供卓越的成像分辨率，適合微觀和納米尺寸的制造。它包括利用具有高NA性能的浸入式液體透鏡機、紫外線超高功率激光光源、高速光學運動進行掃描、平移、半場縫合，以提高吞吐量。TFH2配備了融合成像工具和精密的對準系統，以提供高度精確的模式放置。它還包括多重曝光和掃描重叠等功能，以防止縫合問題和從基板到基板的可重復焦平面調節。步進器具有高度的模式分辨率,非常適合內存設備、顯示設備、高性能模擬和數字應用。此外,TFH 2還設計用於增強低維護,只需最小程度的手動調整和輕松調整。它還具有自動檢查功能,以確保所有組件都正確對齊和校準,以及可定制的用戶設置,以提高生產效率和效率。用戶友好的維護和數據交換接口允許實時觀察和控制資產組成部分。這些功能協同工作,提供業界領先的晶圓工藝性能。