二手 NIKON NSR TFH EX14C #9276258 待售

NIKON NSR TFH EX14C，是為高生產率而設計的最先進的深紫外線晶片步進器。NIKON NSR配備了高功率RI（反射指數）源（最高350W@248nm）, TFHEX14C在精巧和可重復性方面提供出色的平版印刷性能。NSR TFH EX14C配備了先進的4象限自動對準設備，確認晶圓的X-Y定位，並即時對準，以實現晶圓的高度精確對準。此外,完整的自動化系統有助於大幅減少人為錯誤,使NSR TFHEX14C能夠快速曝光。NIKON NSR TFH EX14C在其焦平面安裝了先進的成像系統,可補償投影透鏡的像差,並將衍射圖像精度保持在3 µm ±。它具有7nm的分辨率和0.1µm的精確度，能夠產生該裝置的精細圖案。NIKON NSR TFHEX 14C的Reflex Source Unit通過將光源引導到具有適當光散度的晶片來提高圖像曝光均勻性。Reflex Source Machine有著優越的特性，例如能夠減少鏡頭對鏡頭的變化，也顯著減少了布局聚類。先進的高NA光學元件比高NA光學元件將曝光時間從2倍減少到10倍,從而縮短了曝光時間。它提供了卓越的成像性能,景深提高了20%,並且改進了源聚焦能力,能夠準確地再現散焦模式。NSR TFH EX14C的高級PCB（流程控制板）提高了曝光工具的吞吐量和通用性。它還包含一個直觀且易於使用的圖形用戶界面,並具有用戶友好的導航和管理功能,使操作員能夠有效地監視和控制多個進程。最後,NSR TFHEX14C配備了質量源資產,它提供了出色的源電源管理能力,可以防止任何潛在的源電源問題。這將轉化為高度穩定的曝光性能。NIKON NSR TFH EX14C是大體積曝光晶片光刻的理想晶片步進器.它旨在提供高生產率和卓越的平版印刷性能,同時大大減少人為錯誤。