二手 NIKON NSR TFH EX14C #9356069 待售

NIKON NSR TFH EX14C
ID: 9356069
晶圓大小: 6"
優質的: 2001
KrF Stepper, 6" 2001 vintage.
NIKON NSR TFH EX14C是晶圓步進器,一種用於微電子制造過程的半導體光刻工具。它被設計用來生產各種類型的微電路元件到特殊的晶片上。該EX14C采用獨特的光學對準設備,結合了遠心透鏡和掃描對準系統。這種對準裝置在將微小特征的圖樣放置到晶片上時提供了極好的準確性和可重復性。該EX14C能夠產生精細到14 nm的特征,以及相關的多層結構。這是使用NIKON專有和透鏡系統以及能夠產生波長小至13nm的光的光源來完成的。通過利用最新的增強型照明光學器件,EX14C能夠產生更復雜的圖樣和最高的圖像保真度。步進器本身以堅固的機械設計為基礎,具有堅固的橋狀結構,使其具有出色的穩定性和剛性。這種剛度使得它即使在極高的分辨率下也能發揮作用,而不會像其他一些半導體光刻系統所常見的那樣出現模式不對準的危險。EX 14C的移動階段也極快而精確,讓它們以更高的精度實現更高的吞吐量。此外,EX14C非常靈活,因為它能夠容納各種各樣的晶圓。步進器還具有創新的晶圓處理機,既用戶友好又可靠。這種方便用戶的設計可以方便地裝卸晶片,同時將汙染和損壞保持在絕對最低限度。最後,NIKON NSR TFHEX14C是一種適用於半導體制造工藝的線形光刻工具。它結合了精密光學、堅固的機械設計和靈活的晶圓處理系統,使其成為高性能應用的理想選擇。該EX14C具有高分辨率和快速的吞吐量速度,是在半導體晶片上生產微小特性的高效可靠工具。
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