二手 NIKON NSR TFH i12 #9197998 待售
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已售出
ID: 9197998
晶圓大小: 6"
優質的: 1998
Photolithography stepper, 6"
SEIKOSHA BP-4500 Computer controller
VIEWSONIC Flat screen monitor
Keyboard
Mouse
Control cabinet
Wafer loader: Type 2 left inline
Reticle loader: (13) Slots single library
Inline: Left type
Wafer loader:
WL-12 v2.30 13V4.50
OF-12 v2.30 B4V3.20
WR-12 v2.50
WLY-11 v1.30 10V2.11
Lens controller: 71V6.80
Main computer: NIKON NEST V
VAX Station: 4000.96
Tape driver: DAT40
Chamber type: SENDAI S19
Chamber temperature: 20.0
IATC Temperature: 20.1
LLTC Temperature: 20.32
Compressed air (at 50 liter/min flow): 3.1kg/cm2
Vacuum pressure (at 50 liter/min flow): -600mmhg
Process cooling water flow rate (at 20°C): 35 liter/min
LLTC Coolant flow rate:
Atmospheric pressure: 835.78 Hpa
Refrigerator pressure:
Set point:
High: 1.3~1.5 (actual 1.4)
Low: 0.35~0.55 (actual reading 0.38
1998 vintage.
NIKON NSR TFH i12是由NIKON開發的一種最先進的晶圓步進器，幫助指導半導體器件的制造。晶圓步進器設計用於半導體工業的高精度、高生產率的光刻應用。它結合了高分辨率、高吞吐量和與高縱橫比光刻目標的兼容性，是各種設備制造工藝的理想選擇。NIKON NSR-TFHI12有掃描和步驟和重復兩種操作模式。在「掃描」模式下,將依次在晶片的表面上掃描包含陣列的標線。每次掃描時,圖樣都會暴露在晶片上。在「步驟」和「重復」模式下,單個圖像在晶圓的許多部分上成像。然後將晶片在兩次曝光之間移動，從而使連續的曝光都通過預定的放大倍率和基數與基數位移相關聯。為了使性能最大化，NSR TFH i12配備了多種高級功能。晶圓自動加載系統是晶圓自動加載系統的一個關鍵特點，它旨在減少晶圓的失調和失靈。步進器還具有多種對齊選項,包括高精度、高精度階段搜索、內聯掃描或即時標線定位,以確保頂級精度和吞吐量。此外，還提供了自動對焦和散光校正，以達到最佳對焦和圖像均勻性。NSR-TFHI 12的集成環境允許對每個晶片進行快速、準確的過程控制,並逐個特征。它能夠使用多種曝光技術,如聚焦優化、高級缺陷審查和技術配方驅動的配方。步進器還包含數字顯微鏡，使操作員能夠以高放大倍率和高分辨率檢查每個標線的圖樣。最後,NIKON NSR TFH i 12專為實時生產而設計,滿足了成本效益高但效率高的挑戰。它還可以輕松集成到現有的生產環境中,從而節省時間並實現無縫生產。總而言之,NIKON NSR-TFHI12是經濟高效的晶圓步進解決方案的絕佳選擇。
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