二手 NIKON NSR #293601737 待售
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NIKON NSR是一款功能齊全的晶圓步進器,專為先進半導體加工的微米級光刻要求而設計。NSR是一種最先進的光刻設備,可提供高分辨率的成像、卓越的性能和靈活的操控性。該系統建立在由高分辨率、印記投影鏡頭、高精度直線電機定位級和高級精密伺服定位單元組成的先進架構之上。NIKON NSR晶片步進器利用多級成像光學機器,無論有何要求,都能在晶片上產生極其精確和明確的圖像。刀具的分辨率為0.5nm,其精度也是巨大的,標準差為0.05微米。所有這些因素使得NSR成為最先進的半導體生產應用的理想選擇。NIKON NSR的優化晶片配準通過高級計算引擎得到保證,該引擎可自動補償在曝光過程中可能在掩模或晶片上發生的任何熱膨脹。這確保了在納米級上的卓越成像性能。NSR還支持多種用戶友好的功能,如點擊停止細焦點旋鈕、軟件控制的舞臺控制、直接多放大能力、自動區域重叠對準、反射基板的自動對焦功能以及提高吞吐量的圖像循環。這是一個針對大批量生產應用和要求高精度成像要求的完整解決方案。NIKON NSR先進的電子跟蹤資產提供了自動漂移控制,以補償掃描階段之間的小移動,確保了曝光結果的卓越重復性。此外,NSR可以快速高效地執行,最大掃描速度為8,000mm/秒。總體而言,NIKON NSR提供卓越的性能、卓越的成像質量以及可靠、可重復的結果。NSR具有令人印象深刻的一系列特性,是一款備受追捧的最先進的晶圓步進模型,非常適合最先進的光刻應用。
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