二手 NIKON NSR #293668735 待售

NIKON NSR是一種用於半導體制造過程的晶圓步進器。這個工具是由NIKON開發的光刻投影步進器，可以在薄甚至晶圓上精確地製造低至35 nm的小特徵。它具有優化的步進控制,並在穩定的平臺上運行。此步進器提供出色的圖案叠加、圖案放置精度和可重復性。NSR具有集成的反射成像光學器件和寬廣的數值孔徑，提供高分辨率的圖樣，具有出色的吞吐量。此功能還允許以簡單可靠的方式檢測掩碼缺陷。步進器提供高性能、長期穩定性和可調節的斑點大小,適合陣列元素的像素化。為確保性能和產量一致，NIKON NSR配備了自校準晶片級，可以精確測量照明器和晶片之間的距離。該設備還具有高效的電機控制系統，可在制造過程中精確定位晶圓。步進器還包含伺服校正單元，該單元能夠在陣列操作過程中進行快速校正。此外，NSR還擁有一臺具有精確加熱器和恒溫器控制的高性能溫度控制機，可以精確控制晶圓溫度在20至50 ˚C的範圍內。此功能還減少了主點,並消除了陣列制作過程中的熱漂移。此外,步進器利用SynchroScan工具技術在短時間內快速處理多個晶片。該資產還通過允許用戶提前設置參數調整並快速調整晶圓尺寸，提供了出色的自動化支持。總體而言,NIKON NSR是一種高性能的光刻投影步進器,能夠精確、快速地制造具有出色重復性和過程控制能力的圖樣微結構。該工具為制造極小的零件和晶片提供了經濟高效和可靠的解決方案。