二手 NIKON NSR #293819945 待售

NIKON NSR是一種先進的晶圓步進設備,能夠高效生產集成電路.它是一個完整的模式生成系統，結合了一個標線，運動控制單元和一個全計算機控制的光學機器。利用0.25 NA投影光學器件和CCD相機,NSR能夠實現芯片級生產,用於大量的IC生產。該刀具采用6自由度和1.5 μ米精度的吊桿式標線級。標線級的設計保證了整個生產過程的高精度和精確度。此外，其位置控制資產與環境控制模型相結合，確保了穩定的環境，並在生產周期中最大限度地降低了噪聲水平。該設備還集成了NIKON調整方法（NAD），可確保光學系統的自動調整以及機器的機械平衡。這進一步確保了更高的圖樣成像精度。NIKON NSR還擁有NIKON Step-and-Repeat （NSR） Unit,可實現多種應用方案,例如在一個成像周期中在一個晶圓上步進多個芯片。該機的光學器件配置有兩個離軸、兩個axicon、一個像差校正器和一個安全透鏡。這種配置可通過廣泛的工作距離確保卓越的成像性能。該工具還配備了一個連續的細胞光學資產，使高速模式成像與減少曝光時間和高生產率。NIKON NSR晶片步進器是為優化過程集成而設計的。它能夠提供全自動生產周期,包括硬件模型檢查和對準以及機械和光學調整。此外，設備還支持廣泛的模式校正算法以及在生產過程中調整曝光設置的能力。總體而言,NSR晶片步進器能夠實現高效的IC生產周期,並具有高度的準確性和生產率。其創新特性使其成為芯片級生產的理想選擇，並繼續在半導體行業提供卓越的性能和質量。