二手 NIKON NSR #293819949 待售

NIKON NSR是一種晶圓步進器，因其在滿足各種光掩模和標線生產和維修要求方面的卓越性能而得到認可。該設備具有業界領先的高數值光圈（NA）鏡頭,可提高分辨率、對比度靈敏度和吞吐量。此外,NSR還配備了一個簡單、用戶友好的控制臺,可直觀操作,並提供各種字段大小和曝光設置,以完成幾乎所有的標線應用程序。在典型的應用中,NIKON NSR使用4步掃描標線成像過程進行操作。這包括一個標線制定站、光學顯微鏡對準站、曝光站和曝光後檢測站。準備站用於清潔、塗層、校準和檢查標線。對準站包括一個鏡片系統對標線進行成像，以及一個自動對準系統，用於查找最佳曝光場和位置。曝光站用於精確定位晶片並將其暴露在標線上，並采用動態聚焦控制，以獲得最佳的均勻性。最後，使用曝光後檢測站對曝光的晶片進行快速現場檢測，以確認工藝質量。NSR晶片步進器還結合了各種曝光精度和可重復性技術，如獨特的High-NA光學配置、調制聚焦深度（MOD）技術，以及三維（3D）配準，將表面積精度和橫向特征叠加完美結合。MOD技術還可以提高分辨率和吞吐量性能。此外,NIKON NSR還提供了若幹高級控制選項,包括因過程而變化的暴露劑量控制,以及基板ID自動識別。這些特性帶來了卓越的生產級標線工藝,為從業人員提供了業界領先的精確度和準確性。NSR晶片步進器是半導體器件制造商的理想選擇,它們需要更高的分辨率、改進的模式對比度以及在更大視野上更統一的模式。這樣可以提高設備的產量和性能。所有組件在統一的系統中協同工作,提供卓越的性能、產量和生產效率。