二手 NIKON / NTS NSR-2150 #293650967 待售

NIKON/NTS NSR-2150是一種高精度晶片步進器，主要用於半導體晶片制造中的光刻工藝。它采用雙曝光步進和重復原理，以μ米的1/2的覆蓋精度提供低至0.3 μ米的分辨率。該機體積小巧但用途廣泛，具有節電設計，包括高速0.275秒的標線交換設備和舞臺加熱器的「智能」加熱器控制。NTS NSR-2150利用長壽命6 ″ F2.4光學系統和雙目鏡來確保一致性。該單元還允許手動聚焦，並且在436 nm的波長下具有1階遠心率的分辨率，達到1/2 μ m的覆蓋精度和0.4 μ m的邊緣檢測精度。步進臺的最大行程為300 × 300毫米，由數字控制的可移動臺驅動，帶有高精度的數字光學編碼器和溫度傳感器。它還包括自動回家、舞臺糾錯和可調主軸。舞臺的軸元件以對稱配置設置,以確保精確且同時進行X/Y運動。NIKON NSR-2150設計用於處理復雜的模式曝光,采用多種算法,如旋轉、鏡像和非對稱多逆掃描。此外，還提供了一些鏡頭校正和補償功能來改善鏡頭曝光，如可變可編程特征校正和動態耀斑補償。步進器還有一個面向圖形的用戶界面，這使得操作機器更加容易和直觀。NSR-2150高度可靠，設計壽命1000萬次，並按照國際性能和安全標準獲得ISO認證。此外,步進器還有一個內置的事件日誌,用於跟蹤、存儲和審閱過去的過程-同時保護數據完整性和產品質量。總之，NTS-2150是一個強大而精確的晶圓步進器，具有現代半導體晶圓制造所必需的特性和能力。它速度快、可靠且相對容易使用,因此能夠更高效、更經濟高效和更精確地制造集成電路。