二手 NIKON PL-2 #293657667 待售
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NIKON PL-2是由NIKON開發的高度先進的光刻步進器,配備了前沿技術,用於尖端的微加工工藝設計和實施。由於其先進的設備配置,步進器可用於各種復雜的光刻工藝。PL-2專為精確成像而設計,具有雙三重掃描運動系統和低像差光學等獨特特性,可滿足臨界尺寸(CD)密封性公差的挑戰性要求。Dual Triple Scan提供了一個兩步掃描運動單元,用於精確定位電路模式,從而能夠以一致的曝光質量創建多個獨立設備。步進器還有一個直接成像投影機,能夠使用高能脈沖光在矽片上放置光掩模圖樣。此功能使步進器能夠產生設備設計所必需的高度詳細的線條和空間模式。為了支持這種精細的結構,NIKON PL-2還提供了先進的300-kW高功率激光源。PL-2是為性能和精度而設計的。其電機工具和低噪聲驅動設計實現了平穩的加速減速,實現了穩定準確的模式操作。此外,它的精確度、低熱量產生軸承設計提供了更安靜的操作,提高了精度,減少了因粒子發射造成的汙染。NIKON PL-2還配備了高效的除塵資產。為防止敏感矽表面受到汙染,它旨在有效捕獲汙染顆粒,並為用戶提供卓越的汙染控制。PL-2的高級處理器和軟件使用戶能夠在不犧牲準確性或性能的情況下體驗完全自動化的過程。步進器具有直觀的用戶友好界面,可將可用性擴展到更廣泛的受眾。NIKON PL-2是一種功能強大的晶圓步進器,具有先進的內部模型體系結構、高效的操作模式和卓越的性能。其精確、低粒子發射、低熱軸承設計,可實現穩定、精確的圖樣操控。通過Dual Triple Scan運動設備和強大的激光源,用戶可以通過緊湊的CD安裝實現高分辨率電路。
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