二手 NIKON PL-2 #293659411 待售

NIKON PL-2晶片步進器是一種8英寸晶片對準步進器，用於將微電路打印到半導體晶片上。它為卓越的設備制造提供了最高水平的對準精度和無與倫比的圖像質量。PL-2采用先進的光學工程技術來實現其高級成像,以各種背景顏色和級別提供聚焦和均勻照明的圖像。其精密工程通過最小化步進操作過程中晶圓變質，確保了高通量過程。屢獲殊榮的NIKON PL-2晶片步進器配備了雙擺臂安裝方法（DSAM），以提高對準精度和提高生產中的吞吐量。DSAM系統包括一個符合人體工程學的高架臂和一個精密工程的基級臂，具有可調關節。它結合了精確的三軸運動控制、高分辨率光學成像和晶片的自動對準，以進行高度精確的叠加對準操作。PL-2晶片步進器使用反射對準系統（RAS）進行快速、精確和易於操作的晶片對準。它有一個晶片內機器人進一步提高步進性能，以及一個直接驅動的機器人執行器在視場中移動晶片以進行全場掃描和對準。RAS還為雙曝光提供了優異的效果,對於關鍵工藝層,可實現高達3 μ m的直接叠加精度±。NIKON PL-2晶圓步進器能夠在細線成像應用中制造晶體管和電容器級器件。它支持高速和高精度作業,分辨率高達0.25 μ m,功能尺寸降至6 μ m。它還提供了廣泛的曝光波長柱，從紫外線到長波紅外，以適應不同的波長應用。PL-2晶片步進器通過屏幕上的過程控制功能提供高級監視功能,用戶可以查看實時的過程狀態和性能數據。該系統還通過一系列預防性維護程序提供長期維護和可靠性。此外，它的環境設計還具有一個無塵室和最小的占地面積，以便在狹窄的空間中有效使用。