二手 NIKON R2205HA #293664649 待售
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NIKON R2205HA是晶圓步進器。它是利用F2激光器和同步掃描系統(SSS)技術的全場步進設備,提供卓越的成像控制和精度。這一單元設計用於光學光刻在半導體生產應用,如邏輯,內存和特別是細線器件。它提供了廣泛的光學對準和聚焦功能,以確保所生產設備的最高保真度。R2205HA步進器使用雙腳本掃描機來精確控制曝光過程。該工具旨在通過模式數據調制、定時和區域掃描的組合來精確控制曝光過程。這使步進器能夠為每個正在生產的設備產生非常精確的聚焦、分辨率和覆蓋參數。NIKON R2205HA的分辨率為25納米,視野為5 「x 7」。它可以在一次曝光中對數百萬個特征進行模式化,拍攝時間可高達0.075秒。它還具有極一致的暴露精度,低至十分之一納米。步進器與矽片、玻璃板、石英基板等材料兼容。此外,R2205HA還具有先進的靈活增強高速掃描(FEHS)資產。該模型為設備提供了獨特的受控激光源。這種減小的激光束大小和光斑大小轉化為更高的傳送速度,當涉及到暴露特征。NIKON R2205HA還具有多種軟件功能。例如,它具有集成的數學精密工具(MPT)系統,用於即時計算和優化曝光參數。它還可以生成要存儲和召回的曝光庫,以便於處理。此步進器還具有許多精確的自動對齊功能,如邊緣彎管頭、對準變焦和散焦掃描。總體而言,R2205HA晶片步進器是一個精密的單元,能夠產生卓越的圖像保真度和準確性。其眾多功能為用戶提供了最大限度的光刻控制和精度。該機器設計用於任何需要最高水平的控制和精度的光刻應用。與多種材料兼容,是最先進半導體生產工藝的完美選擇。
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