二手 NIKON R2205HDIS #293664652 待售
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NIKON R2205HDIS Wafer Stepper是一種適用於先進半導體器件加工的靈活可靠的光刻設備。其廣泛的特性使得它適合各種應用,從批量生產到更精細的工藝,如MEMS和高縱橫比。它以經過NIKON驗證的i-line優化光學技術為基礎,結合了卓越的叠加精度、分辨率和層對齊方式,使產品產量更高。R2205HDIS晶片步進器能夠在包括晶片、掩模和其他矽部件在內的各種基板上產生高質量的結果。憑借其廣泛的系列特性,它能夠處理8英寸、12英寸和200毫米晶圓。步進器包括高精度級,使用可編程掃描晶格在曝光期間定位一定範圍的水平和大小。步進器的石英玻璃光學器件設計,以提供卓越的圖像均勻性和分辨率與高焦深。此外,NIKON R2205HDIS還配備了預對準器、噴嘴更換器和MOVIDRIVE,可用於多功能生產。該系統具有許多增強性能的附加功能,例如改進的光學單元、更高的可重復性激光對準設置和對焦校正。它還能夠執行多種功能,包括蒙版制作、標線對準、激光燒蝕和曝光。采用全自動設置,操作效率極高,用戶友好。該機還配備了自動對準工具和自動晶圓交換,以最大限度地提高產量。其成像結果的精確度通過集成尼康專有軟件得到進一步提高,該軟件允許用戶微調成像參數,以確保最佳分辨率和均勻性。該資產還配備了自動對焦功能,允許鏡頭在沒有人為幹預的情況下調整到任何晶圓的焦點。總體而言,R2205HDIS Wafer Stepper是一個高性能模型,具有豐富的功能,可產生出色的效果。它的一系列功能使其成為批量生產、精細工藝和許多其他應用程序的理想選擇。
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