二手 NIKON R2205HMF #293664653 待售

NIKON R2205HMF是為先進的光刻應用而設計的高性能晶圓步進設備。該系統包括先進的光刻控制器、智能掃描對準器、4軸級和先進的掃描曝光單元。它能夠提供高通量、高對比度和高分辨率的結果，在包括晶圓、降解面膜和有機膜在內的各種基板上都具有精細和超精細的特性。先進的光刻控制器提供了可重復、精確的曝光控制，並且可以在單個晶片上重構多種模式，使其成為大面積設備的理想選擇。它支持從每個晶圓的多個站點對特征進行高精度、無損的縫合。智能掃描對齊器可以針對自動對齊過程中的邊移錯誤進行調整,即使具有極端的特征,也能實現可重復曝光精度。它具有在一個操作中處理多個晶片的宏級縫合的能力。4軸級設計采用超低力平行反應方法提供快速、精確的運動控制。它對大型基板（如整個晶片）進行精確定位。先進的掃描曝光機使用激光掃描的激發，具有圖案化的視野和一系列的標線尺寸。它能夠在完全分辨率下以一次曝光的方式曝光單個晶片。R2205HMF晶片步進器是為各種基材的精密和快速生產而設計的。它為大型到超大型區域的超精細特性提供高吞吐量、高對比度和高分辨率的效果。其強大的功能使其成為先進光刻應用的絕佳選擇。