二手 NIKON S202 #293825803 待售
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ID: 293825803
Scanner
Renesas upside: +8K/m tool
DUV (Non-Critical, 4X Scanner, KrF)
Host station.
NIKON S202是一個步進器,它為用戶提供了半導體行業的廣泛應用,並提供了卓越的盈利能力。該設備具有橫向現場設備和嚴格的設計規則,提供卓越的圖像質量。S202具有全自動對齊解決方案,可輕松操作系統並提高對齊精度。NIKON S202提供高精度的mxSEM鏡頭,提供先進的自動對焦和重叠控制.這種組合大大縮短了對齊時間並提高了產量。該單元還具有離軸照明,實現均勻曝光和高對比度YAG成像機。這進一步簡化了對齊過程,確保圖像在曝光前正確聚焦。此外,該工具還具有Sextupole Marking功能,可精確復制分辨率高的小型孤立特征。利用其先進的縫合工具和樞軸校正技術,用戶可以創建無縫效果的大射擊場,而不必在曝光之間移動晶圓。這種先進的技術還允許低失真水平和減少註冊故障。NIKON S202is先進的覆蓋能力和高吞吐量設置,因此能夠提供最高的步進生產率。這臺機器提供步驟和重復、掃描和標線對齊解決方案,使優化吞吐量和提高產量成為可能。此外,此工具的設計目的是提高產品產量,並通過其一流的對齊精度來減少浪費。總體而言,S202是一種先進的晶圓步進器,可確保卓越的圖像質量和產品產量。它具有高級對齊解決方案、Sextupole Marking、離軸照明以及高吞吐量設置,可為用戶提供盡可能高的步進效率。NIKON S202具有卓越的圖像質量和覆蓋精度,是半導體器件加工的理想選擇。
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