二手 NIKON S202 #293825804 待售
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ID: 293825804
Scanner
Renesas upside: +8K/m tool
DUV (Non-Critical, 4X Scanner, KrF)
Host station.
NIKON S202是由先進成像和精密設備的領先制造商NIKON Corporation開發的晶圓步進器。它設計用於半導體制造過程,如光刻,用於制造集成電路(IC)。步進器具有6場光學設備,具有多種光學元件,允許從不同角度進行多次曝光,從而實現了可重復的模式精度。照明系統包括6位變焦鏡頭,提供0.75至8.0毫米的曝光場大小,曝光時間可選擇3至10秒。此外,它還配備了一個自動對準裝置,具有高度精確的分級裝置,以優化晶圓和掩模的對準。S202還具有用戶友好的操作面板,並配有彩色液晶顯示器,可提供出色的可見性。步進器配備了環境感應器,如溫度檢測和少量氣流感應器,以提供穩定的操作環境。這臺機器還有一個自動校準和監控工具,提供了一個快速和精確的精細調整光場對準隨時與最大的精度。數據傳輸通過千兆位以太網和USB連接完成,以便於與外部數據系統集成。步進器還具有一種特殊的特性,稱為輸出缺陷傳感器,它可以檢測抗蝕劑表面上是否存在顆粒、異物或其他缺陷。此外,NIKON S202具有內置冷卻資產,可顯著減少曝光運行時間和功耗,從而控制曝光過程中產生的高溫。步進器也是輕量級的,其緊湊的設計允許小型晶圓對齊,非常適合原型設計應用。步進器還配備了提供數據管理的軟件,並且在觸摸板上有一個遙控器,便於操作和方便。此外,它還具有工作記憶存儲和自動面膜板交換功能,以提高生產效率.總而言之,S202是設計精良的晶圓步進器,具有多種特性,非常適合用於光刻工藝。它非常精確、高效、用戶友好,是各種IC制造操作的絕佳選擇。
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