二手 NIKON S202 #293825805 待售

NIKON S202是一種晶圓步進器,設計用於精確打印、圖樣和檢查半導體掩模。即使在高吞吐量下,它也能夠顯示高分辨率、準確性、均勻性和線緣質量。S202具有雙4度掃描儀和提供高速掃描的150毫米步進器。這樣可以實現快速晶圓吞吐量和卓越的線路和邊緣質量。步進器設有三個階段的運動控制，包括支持平移、掃描和傾斜範圍為+/-2度的旋轉功能的主階段。NIKON S202能夠打印和檢查晶片，晶片的直徑可達200毫米，石英層薄至0.2微米。步進器有12個固定磁場、高精度的鏡片，用於面罩印刷和檢查，以及兩種不同的檢測模式，用於精確的幾何缺陷測量。S202具有針對Quartz CD和Metal CD層的自動對準系統。它還對放置和對齊有各種限制，允許自動CD測量和缺陷檢測。步進器還有一個先進的潔凈室管理系統，有助於保持空氣清潔和顆粒控制，提供卓越水平的環境質量控制。NIKON S202是一種通用的晶圓步進器。S202具有多重分辨率的能力，同時還有一個遮罩-衍射發生器和一個衍射光柵系統，可以打印高精度的圖樣。即使在最小的生產水平上，它也能顯示出優秀的線緣質量和條紋。尼康S202是高容量半導體制造的理想選擇。步進器具有出色的工作溫度穩定性、多重對準和分辨率能力以及優越的線緣質量，可實現最大的性能和更高的質量。S202具有卓越的速度、質量和分辨率能力,是晶圓步進器的理想選擇。