二手 NIKON S204 #293814741 待售

NIKON S204
製造商
NIKON
模型
S204
ID: 293814741
KrF Scanner.
NIKON S204是一種高度自動化的晶圓步進器,專為微電子制造應用中的芯片陣列設計。它采用高精度、高速的XY級技術,能夠在所有陣列應用程序中進行定位。NIKON S 204的分辨率為0.02微米,使其能夠以極高的精度和精度運行,以滿足各種地形需求。S204專為高精度和高通量光刻應用而設計。它包括多個字段大小、高級像差校正和自動圖像配準等前沿功能的選擇。它還具有先進的舞臺設計,可確保平滑、可重復和可靠的光刻圖案。S 204還具有集成對齊監視器,使操作員能夠實時檢查打印圖樣中特征的對齊情況。這種監視器在使用高NA透鏡時對確保圖樣的完整性很有用,也有助於優化生產的晶片。它還有一個自動對焦系統,使它能夠快速聚焦於不同的層深度,以最大程度地提高制造效率。NIKON S204還配備了自己的一套外圍配件,包括自動對焦鏡頭、大氣壓控制器和激光位移單元。在性能方面,NIKON S 204每小時可進行超過250萬次曝光,使其能夠在不犧牲準確性的情況下快速產生高質量的圖案。此外,它的總開銷時間不到2.5分鐘,從而提高了總體吞吐量並縮短了返工時間。S204還具有出色的可重復性,使其能夠持續產生準確、可重復的結果。總體而言,S 204是一種高度先進的高精度晶片步進器,專為晶片陣列化應用而設計。它提供了出色的準確性、分辨率和吞吐量,從而降低了生產成本、提高了產量並加快了周轉時間。
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