二手 NIKON S204B #293823357 待售

NIKON S204B
製造商
NIKON
模型
S204B
ID: 293823357
DUV Scanners.
NIKON S204B是晶圓步進器,一種用於生產集成電路的半導體光刻工具。這款光刻工具由尼康公司於1988年開發,集成了光學和機電元件,在半導體制造環境中打造集成電路掩模。步進器的主要目的是將光掩模的圖樣精確地暴露在光敏晶片上,這一過程對於芯片制造至關重要。NIKON S 204 B使用紫外線作為其曝光源,並配備了高效、精確的半導體制造的特殊特性。配備了數值還原透鏡,可以將300 mm晶片的微小圖樣投射到10倍的最大還原比,使其成為當時最有能力的晶片步進器之一。此工具的光源可以調整,以便在任何給定時刻為各種電路設計定制其在整個晶片上的光照。此外,S204B還配備了一個高精度的浮動級,該浮動級使晶片在步進器的曝光區域內移動,以實現高精度的對準,從而優化設備制造。Optics Block Assembly中的是Exposure Optics子系統,它包含內置的照明系統,包括透鏡、鏡子和石英濾鏡。S 204 B的光學子系統使其能夠產生超精確的模式,而其先進的鏡像精簡機制提供的吞吐量明顯高於大型步進器。在操作方面,NIKON S204B由一個復雜但易於使用的基於微處理器的操作系統供電。這種先進的操作系統允許將外圍設備檢查功能集成到自主光刻過程中。NIKON S 204 B被定位為全球半導體制造商所使用的經濟高效、節省空間的光刻工具。它以其可靠性、低擁有成本以及能夠制作出極其精細的復雜電路模式而聞名。在生產環境中,S204B每小時最多可生產10個晶圓,最大分辨率高達10nm。由於其精度高、維護少、運行成本低,是中型芯片生產線的理想選擇。
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