二手 NIKON S204B #293824311 待售

NIKON S204B
製造商
NIKON
模型
S204B
ID: 293824311
Deep Ultraviolet (DUV) scanner.
NIKON S204B是一種晶圓步進器,用於制造半導體器件。它能夠通過紫外線在其前表面暴露一個帶有數組光掩模的單個晶片。它配備了先進的光學設備,可對高達0.6 μ m的線路和空間的電路圖樣進行高分辨率成像,非常適合進行掩模制作和設備制造。NIKON S 204 B配備了先進的激光Aligner,允許快速、受控和精確的對準。激光對齊器允許用戶在曝光步驟中輸入一系列坐標,將光掩模精確瞄準晶圓。此外,精細的控制、扭矩和速度控制能力都有助於實現可靠、可重復的過程。S204B配備了兩種圖樣成像系統-單光束和雙光束。Single BEAM系統由兩個UV光源組成,每個光源都有自己的圖樣投影單元,允許用戶獨立調整投影到晶圓上的圖樣位置。Dual BEAM機器由四個光源組成,允許用戶同時將兩個圖樣投射到晶片上。S 204 B還有一個軟件對齊器,它允許用戶以交互方式調整晶圓上的模式放置,以滿足每個應用程序的要求。軟件對齊器允許在微觀環境中進行虛擬對齊,並允許操作員微調投影到晶圓上的模式的位置。Software Aligner還為用戶提供了各種各樣的模擬和優化工具,使對齊過程快速高效。NIKON S204B配備了先進的晶圓處理工具,確保晶圓在整個曝光過程中的安全準確運輸。資產配備了雙級機械臂,可以精確裝卸晶圓。此外,一旦第一次曝光完成,內置模型就會自動使晶圓旋轉180度。NIKON S 204 B是一個綜合性的晶圓步進設備,為高端半導體器件的成功制造提供了一切必要。它配備了先進的光學和圖樣放置系統,可對高達0.6 μ m的線路和空間的電路圖樣進行高精度成像,以及可靠的晶圓處理系統,以安全準確地運輸晶圓。
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