二手 NIKON S204B #9190274 待售

NIKON S204B是半導體器件制造光刻工藝中使用的全自動步驟和重復晶片步進器。為5軸配置，曝光面積為1x1mm至4x4mm。NIKON S 204 B包括一個功能齊全的軟硬件平臺，使光學成像過程自動化。它使用鹵素燈和一個封閉的光室來產生高達300納米的光，用於光刻。這樣可以在任何步長上實現更高分辨率的成像,並提高成品芯片的精度。步進器的三重重復精度為2微米，這要歸功於它的機械和光學元件。步進器結合了高性能的1倍還原光學系統和1.2NA透鏡，以便在晶圓上進行更明亮、更清晰的成像。它配備了多種標線，從標準到先進的定制晶片分析。為了優化成像過程,S204B還包括對準和校準功能。其獨特的對準系統包括檢測晶片邊緣以減少曝光面積誤差的自動對焦，以及精確定位每一個芯片的自動定位器。此外，它還配有晶圓平整度檢測工具，以確保晶圓在成像發生之前是均勻的。S 204 B以其流線型、強健的成像技術滿足了現代半導體行業的需求。直觀的用戶界面允許無縫的過程自動化,精確的成像功能確保了無與倫比的工作效率。該模型非常適合工藝開發和生產水平的生產，使其成為半導體光刻最可靠、最具成本效益的解決方案之一。