二手 NIKON S205 #293667241 待售

NIKON S205是一種用於半導體芯片制造的精密步進器。它是一種大型裝置，尺寸為2550mm x 2800mm x 2800mm，重量超過4,000kg。它旨在為復雜芯片提供高度精確的陣列,並提供極其精細的細節。NIKON S 205配備了包含200毫米投影鏡頭和兩個單獨控制的電容耦合掩模級的掃描頭。這使用戶能夠快速準確地對芯片進行制圖，使用高分辨率的藍光照明和相移面罩。S205可以處理65nm到250 nm的芯片特征和缺陷修復,並且能夠處理各種光刻膠和基板。它包含一個自動化的光學對準系統，在每次曝光前精確定位掩模和晶片相對。S 205還配備了一套芯片處理工藝，減少汙染，提高產量。它有一個自動化的汙染預防系統和晶圓處理機器人臂，以減少手動處理。它還具有自動晶圓平面度和地形測量功能,以確保設備性能最佳。NIKON S205還納入了一個環境監測系統，以確保所有工藝條件保持在預先確定的限度內。這保證了統一的結果,並最大程度地降低了設備故障的風險。總體而言,NIKON S 205是一款用途廣泛的晶片步進器,能夠以高精度和高精度處理各種芯片。包括掩模和晶片對準、自動防止汙染和環境監測等各種功能,可確保指導原則和芯片的高精度生產。