二手 NIKON S62 #9169706 待售

NIKON S62 Wafer Stepper是一種精密成像和光刻設備，用於在半導體材料上創建和復制微結構表面。它是一種高分辨率機器，能夠在各種晶圓材料上生產精密表面，精確度低於2nm。該系統具有雙重對準和成像功能,將高級相移與嚴格的2D成像相結合,以滿足高質量的成像和光刻需要。內置對準單元允許快速對準和標線放置,精度高達10nm,而成像機提供可變數值孔徑以優化成像質量和性能。S62使用2.3馬赫直寫激光工具來協助光刻過程。該資產包含兩個激光，可以統一使用或單獨使用，視需要而定。該模型可重復定位精度為200 nm，空間分辨率為0.5 μ m，可實現精確的光刻操作。該設備還包含一個內置的數據采集和控制系統，可實時監測光刻過程，同時還有一個數據管理單元，用於存儲原始圖像和光刻數據。NIKON S62還提供了全自動設計到晶片的工作流,有助於簡化晶片步進編程並降低與加工復雜陣列相關的成本。尼康S62是一個高質量的成像和光刻機器，提供精確的表面理想的半導體應用。該工具結合了雙對準和成像功能、激光資產、數據采集和控制模型以及自動設計到晶片的工作流,使其成為晶片步進技術領域的強大機器。