二手 NIKON S620D #293670592 待售

NIKON S620D設備是一種用於光刻的先進晶圓步進器，設計用於在微觀尺度上創建集成設備和電路。它非常適合於高精度和高通量光刻，並且常用於半導體、光學器件、MEMS和LCD等技術領域的器件和產品的制造。S620D系統直接曝光的最大分辨率為0.1micron,間接曝光的最大分辨率為1微米。它具有高級和低級照明技術,以及傳統的步進/掃描儀硬件。圖像字段為8英寸或12英寸,可使用步進重復功能處理更大的字段。該單元包括一個可調劑量和散焦控制和自動暴露監測。NIKON S620D還包括一個先進的自動對準功能，在處理過程中自動補償晶圓的位移。S620D具有優化的三維映射功能,適用於必須按單個序列映射多個層的應用程序。這臺機器使用高對比度抗蝕劑,旨在最大程度地減少對準誤差.NIKON S620D生成的圖像質量始終很高,導致拒絕次數減少,結果準確。當使用S620D時，曝光級空氣軸承使晶片在舞臺上的運動非常精確和順暢。由於其低功耗和低維護要求,該工具易於集成到晶圓制造環境中。NIKON S620D也是一項環保資產，這要歸功於其減少的溶劑廢棄物和用於建造的可回收材料。S620D與各種軟件包的兼容性進一步增強。該軟件提供手動和自動化編程；可以根據每個應用程序的特定要求定制參數。這種種類繁多的軟件選項使得這種步進對於那些參與光刻的人來說是一種極為通用的工具。總體而言，NIKON S620D晶片步進器以合理的價格提供了一個非常可靠和準確的光刻模型。其多種特性、低功耗、環境友好性以及廣泛的兼容軟件包，使其成為光刻領域的最佳選擇。