二手 NIKON SF 130 #293829385 待售

NIKON SF 130
製造商
NIKON
模型
SF 130
ID: 293829385
晶圓大小: 12"
i-Line stepper, 12".
NIKON SF 130是用於制造半導體器件結構的晶圓步進器。它是一種先進的設備成像設備,能夠執行各種成像任務。此晶片步進器提供卓越的系統性能、高吞吐量和正常運行時間。它旨在推出下一代半導體器件制造。NIKON SF130配備了自由形式的浸入式光學單元,與其他常規滾子系統相比,它具有卓越的成像能力和更高的景深,可改進成像。更大的景深也有助於減少重影和散光,同時提高精度和精確度。該機配備了先進的快速曝光夾緊工具,提高了運行速度。它還設計方便維護,配有預先匹配的鏡頭組件和集成的鏡頭清洗資產。SF 130采用高級專有的基於視覺的對齊模式。該設備提供快速對齊更新,可以分析多個圖像,以確保掩碼對齊並準確定位在晶片上。對準系統還可以連續監控晶圓位置,並且在發生移位時可以自動校正。這樣可以減少錯誤並提高工作效率。SF130由基於主機的軟件單元控制。該機集成了所有工具功能,包括用戶界面、診斷、測量、成像、模擬、數據收集和資產控制。它提供了直觀的圖形用戶設計,並針對高吞吐量和精確的結果進行了優化。該型號由高性能模式發電機和高速光束柱供電,使其能夠以高達每小時500晶圓的速度運行。它以低噪聲和低振動水平運行,確保了穩定的工藝環境。該設備還具有優越的FOUP到FOUP容量,使其能夠一次處理多達1,000個晶圓。總體而言,NIKON SF 130是一款先進的晶圓步進器,可提供卓越的系統性能、高吞吐量和正常運行時間。它以其優越的基於視覺的對準單元、高速光束柱和先進的專有基於視覺的對準機器,為下一代半導體器件制造提供便利。
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