二手 NIKON SF100 #293621279 待售

NIKON SF100是NIKON Corporation為半導體制造制造的多級步進器，允許晶圓的非接觸式光刻。這種晶圓步進器設計用於高精度制造過程，針對亞65納米和45納米節點的制造進行了優化。NIKON SF-100具有雙級光學設備,具有一個大的127毫米（mm）圖像平面,可實現高精度和最小化投影到晶圓上的圖像像差。該系統還具有原始斜向照明光源和NIKON高級像差控制光學器件,可以校正光刻過程中發生的低階像差。這樣,不僅從標準的全場成像過程,而且在包含全調制操作點的中心重叠場上,都可以實現精確、精確對準的65 nm以下成像。SF 100使用NIKON ESC（曝露步進控制）機制來確保精確曝光,具有多個協調和受控的階段運動和反步等特征,以及通過連續監控的動態定心對準快速準確的模式對準。此單元具有高達4幀/秒的最大捕獲速率,具有無限的重新調整大小功能,允許精確的曝光控制,以便在進入下一個結構之前一次創建設備結構。此外,該機器還具有內置視覺工具,能夠檢測現場中心、批處理模式操作和圖像格式切換,使其成為各種生產作業的靈活工具。NIKON SF 100還具有多項安全保護功能，防止對其制造的步進器或晶片造成損壞，如其晶片級的防撞，以及全方位的快門互鎖。此外,該資產還提供了一個用戶友好的界面,並具有多種有用的功能,例如簡單、直觀的觸摸面板,它允許快速、方便地操作,以及易於理解的圖標,以簡化操作。SF-100是高精度制造先進晶圓器件的理想選擇，具有獨特的精度、精確度和靈活性。憑借其先進的功能和可靠的設計,SF100是當前和未來尖端生產過程的理想選擇。