二手 NIKON SF100 #9260320 待售

NIKON SF100
製造商
NIKON
模型
SF100
ID: 9260320
晶圓大小: 12"
優質的: 2002
Stepper, 12" 2002 vintage.
NIKON SF100是用於半導體制造過程中創建集成電路芯片的晶圓步進器。該設備由尼康公司制造,能夠成像分辨率超過0.3微米的晶片。它具有自動對焦(AF)和激光輔助對焦(LAF)的能力,可以快速和精確地捕捉晶片的圖像。NIKON SF-100采用先進的光學器件來確保精度。高端光學包括一個四鏡頭單元和一個5英寸鏡頭,可以檢測最小平面差異,提供更高精度的自動對焦機構。它有兩組光學器件,以減少扭曲光束的像差,導致更清晰的圖像和優越的圖樣。SF 100還具有高端級系統,包括XYZ級和軌道級。XYZ級用於晶片的高精度對準,而導軌級可以移動晶片以確保檢測到皺紋。舞臺系統的組合也允許低振動,導致更高的成像精度。SF100提供了廣泛的曝光源,包括i-Line和KrF激光源。i-Line源適用於高分辨率成像,而KrF源提供更高的吞吐量。這兩個源在曝光時間上都有很大的變化,在成像過程中導致更精細的分辨率。此外,這種裝置與大多數光刻膠片兼容,允許用戶根據自己的要求選擇最佳膠片。最後,NIKON SF 100還具有高度先進的控制系統,允許用戶按照自己的規格對設備進行編程,以執行復雜的成像任務。該設備還可以與NIKON SMIF系統集成,使用戶能夠識別他們的程序並允許他們在晶圓上進行布局。通過所有這些功能,SF-100能夠以極高的精度提供高質量的圖像。
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