二手 NIKON SF155 #293668105 待售

NIKON SF155是一種高度精確、高效和可靠的晶圓步進器。它是一系列需要精確一致處理的半導體制造商的完美選擇。NIKON SF-155采用了多種先進技術來實現自動化操作,同時仍允許用戶保持對生產過程的高度控制。SF155具有卓越的曝光精度和可重復性,最大分辨率為1.00 μ m,同時多軸掃描速度高達400mm/s。此外,它的對準精度為1.0um ±,能夠存儲多達128個拍攝程序。高度先進的掃描儀系統能夠精確的線性和旋轉掃描，使得它在時間和資源方面都是高效的。SF-155還具有集成的三軸自動對焦系統,該系統在曝光過程中不斷調整焦點,確保晶圓的每一層都處於完美聚焦狀態。此外，尼康SF155通過提供先進的自助服務能力，減少了人工幹預的次數。這些措施包括實時監測和控制、統計過程控制和公差範圍管理。NIKON SF-155能夠產生高質量的圖像，具有出色的直率和圓度。設備的高級優化功能進一步減少了暴露誤差,產生了更高的產量和更少的標線。SF155還采用了i-line DUV、KrF、ArF和Hg He-Xe等光源提供各種打印選項，使步進器能夠滿足多次光刻工藝的具體要求。SF-155是最先進、最可靠的晶圓步進器之一。其先進的技術和高效的性能使其成為高端精密半導體生產的理想解決方案。