二手 NIKON SF155 #9309623 待售

NIKON SF155
製造商
NIKON
模型
SF155
ID: 9309623
Lithography system.
NIKON SF155是一種晶圓步進器,旨在為各種高級應用程序提供一整套精確的光刻處理功能。NIKON SF-155采用集成、緊湊的設計,提供卓越的性能和最大的集成能力。此外,設備先進的光學和控制能力確保光刻工藝的每一步都能精確執行,以達到最佳效果。SF155的一個主要特點是先進的光學。系統使用高度先進的晶圓步進器單元(WSS)來精確控制步進器的成像表面。WSS確保對所有成像參數進行最佳調整,以確保生成最佳圖像。此外,SF-155還配備了一臺PatCam光學元件機,用於在光刻過程中精確測量晶圓每一層的特性。NIKON SF155還提供了一個集成的、靈活的自動化工作流工具。這一資產確保了光刻工藝的每一步都能快速高效地完成。可以設置自動工作流模型以適應任何流程或應用程序,從而確保只完成所需的步驟,從而提高吞吐量並減少浪費。NIKON SF-155的雙線性級設計也確保覆蓋精度保持在最低水平。這種設計確保所有的階段都在同一個方向上移動,在一個階段中最大限度地減少運動,使晶圓上的成像表面顯得對齊。此外,設備的雙線性級設計能以非常高效的方式在x和y軸上移動。SF155專為要求苛刻的光刻應用而設計,其特點使其成為先進工藝的理想系統。該單元的高級成像功能、集成的自動化工作流機和堅固的舞臺設計協同工作,以確保光刻過程的每個步驟都能精確高效地執行。這確保了盡可能最好的圖像能夠高效地產生並且浪費最少。
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