二手 NIKON / TEL / TOKYO ELECTRON NSR 1755 G7A #9299967 待售

NIKON/TEL/TOKYO ELECTRON NSR 1755 G7A是一種深紫外線（DUV）步進器，用於半導體制造過程。其300 mm步進平臺在晶圓陣列加工過程中具有高吞吐量和優異的均勻性,並具有高精度和高分辨率,可用於制造前沿、超細特性。該機器能夠在單個晶片上制作多達24層密集電路的圖樣。TEL NSR 1755 G7A能夠在248 nm的波長下運行,並且具有高達21 × 24 mm2的大磁場大小。整個區域的場均勻性令人印象深刻，在執行器級別達到0.3%或更高。這會在機器上運行的任何陣列處理過程中產生極高的覆蓋精度。該G7A有一個分層映射的步驟和重復系統，可確保在晶片上放置模具時精確對準。它還具有內置的光學失真補償器,可最大程度地減少曝光期間的邊緣失真,以及用於連續性能優化的本地聚焦監視器。步進器配備了三個計量系統，使其能夠快速檢測關鍵維度（CD）值並補償潛在誤差。該G7A非常可靠,不需要大量維護。它的平均故障間隔時間（MTBF）為13,800小時，較早期型號為10,500小時，24小時可處理450個晶圓。它還在攝氏10至28度的溫度下運行平穩，相對濕度為60%或更低。結合其高精度和均勻性,NIKON NSR 1755 G7A是生產下一代關鍵陣列應用的理想選擇。其吞吐量快、分辨率高、性能可靠，是半導體制造商的絕佳選擇。