二手 NIKON UGRMEM-01SNQ12 UTOPI-100MX #293668732 待售

NIKON UGRMEM-01SNQ12 UTOPI-100MX
ID: 293668732
P/N: 4S999-100.
NIKON UGRMEM-01SNQ12 UTOPI-100MX Wafer Stepper是一種用於芯片制造和光刻制造的設備。該步進器由尼康公司制造,能夠將高分辨率圖像精確投影到矽晶片上,幫助基板進行加工。這種步進器利用晶片級,由防反射膜、不銹鋼底座和空氣承載設備組成。這個晶片級允許精確的運動和精確的對準,這是晶片加工的基本要求。用這個晶片步進器實作的光刻過程以電子生成的圖樣開始,通常由cad檔案組成,然後用來產生一系列鏡子和光學透鏡的光。光被投射到矽片上,然後由化學物質的混合物處理,形成圖案或標誌。此設置使UV光能夠以高精度和及時的方式投射到基板上,從而可以進行多次圖像放置。UGRMEM-01SNQ12 UTOPI-100MX晶圓步進器還包含一個自動模式匹配系統(APMS)。此單元的設計目的是通過電子方式識別晶片圖樣並使其與所需的基板布局精確對齊,從而確保正確放置所有圖像。APMS機器還允許用戶調整圖像的大小和比例。為了進一步確保晶片加工過程的精確度和精確度,該步進器包括一個子像素尺寸測量和一個控制技術,該技術將自動檢測任何未對準情況並對光投影進行調整。該步進器還包括一個優化功能,可確保最終產品滿足最佳晶圓質量要求。此優化功能包括自動曝光時間控制、自動加權偏移測量、均勻曝光和均勻抗蝕劑輪廓。所有這些特性都旨在最大限度地提高晶片元件的質量和一致性。為確保NIKON UGRMEM-01SNQ12 UTOPI-100MX始終保持準確,應定期對其進行維護。為此,制造商提供了關於如何正確維護和操作工具的詳細手冊。本手冊包括有關如何維護晶片級、空氣軸承資產和光刻工藝的簡要說明。UGRMEM-01SNQ12 UTOPI-100MX晶片步進器自制造以來,已成為芯片制造和光刻生產的重要工具,並以其精確、可重復的圖樣放置方式而聞名。通過結合APMS模型和優化功能,用戶可以確信此步進器能夠在每次使用時提供盡可能高的結果。
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