二手 OBDUCAT NIL-60-SS-UV-VC #9180829 待售

OBDUCAT NIL-60-SS-UV-VC是一種用於高精度光刻應用的高度先進的晶圓步進器。它旨在在一系列紫外線暴露應用中提供優異的效果。它是一種自動化的基於機器的步進器，具有最先進的用戶控制邏輯系統。NIL-60-SS-UV-VC由裝有機器組件的主體外殼和集成觸摸屏接口組成。它包括一個電動步進器，一種控制兩個元件相對位置的機械裝置。它專為精確、可重復的性能而設計，具有控制速度、方向和步數的能力，以達到最佳效果。步進器可以與應用程序匹配，確定所需的速度、加速度、線性、反沖和精度。進行曝光的晶片放置在閉環控制的臺式平臺上，確保精確的位置控制和穩定的運動控制。該平臺有一個手動晶片鎖，以及一個力反饋機制，以更好的精度。該表還設計用於小型和普通晶片加載。曝光激光器安裝在OBDUCAT NIL-60-SS-UV-VC上，而如果需要，可以添加額外的激光源。NIL-60-SS-UV-VC還具有多種安全功能，包括緊急停止按鈕和門互鎖、紫外線幕、激光毛毯、隔振系統、循環水冷和電離器。它還具有低溫控制、可調光源、用於檢測舞臺上異物的傳感器以及可聽和可視警報。OBDUCAT NIL-60-SS-UV-VC與OBDUCAT TAIM軟件兼容,允許遠程操作機器。它能夠在發生警報或任何其他故障時關閉自身。TAIM軟件還能夠存儲數據,以及用於故障排除、數據記錄和實時分析的遠程監視。NIL-60-SS-UV-VC可用於執行廣泛的光刻應用,包括紫外線、深層紫外線、DUV和VUV曝光,以及雙曝光和次分辨率曝光。