二手 PRECISION / GCA 19 #9081984 待售

PRECISION/GCA 19是一種先進的自動化半導體光刻晶片步進設備。該設備是集成電路（IC）生產線的一部分，在一個系統中結合了光刻、掩模對準和自動晶圓處理。GCA 19的大框架高約116厘米，寬約203厘米，深約41厘米。它有5個運動軸（X、Y和Z-axes，以及兩個theta-axes）用於對齊晶片的舞臺。兩個theta軸使設備能夠旋轉和傾斜晶片平面,並將其移動到不同角度進行自動對齊。機器使用從掩模反射出來的光，引導到晶片上，以產生對準和光刻。它采用了基於三點幾何特征的對準工具和獲得專利的「平面旋轉」技術，能夠精確對準和定位具有兩個角度傾斜和兩個橫向旋轉軸的晶片。三點幾何資產允許各種晶圓的圖案精確對齊和精確叠加。PRECISION 19還使用了一種具有超短脈沖長度的內部冷卻的氙氣/氟化物激光器進行照明，允許晶圓表面最大程度的曝光而不會有加熱或損壞材料的風險。激光模型還能夠在各種波長範圍內曝光晶片，從而可以更好地處理多種不同的材料和層。該設備有一個內置的高速對準範圍，使自動化系統，允許快速和準確的操作。此外，該裝置使用幾個傳感器來監視和調整激光的曝光水平，並有一個大的觸摸屏界面供用戶輸入。這使操作員能夠控制不同的生產階段並獲得可靠的結果。簡而言之，19是一種可靠準確的生產線晶片步進機，利用光和激光儀器對晶片進行精確對準和光刻。PRECISION/GCA 19具有內置高速對準範圍及其內部冷卻工具等功能,專為快速、準確的生產而設計。