二手 SCANLAB intelliSCAN 20 #293658208 待售

SCANLAB intelliSCAN 20是用於微電子處理系統的晶圓步進器。它提供了多種先進技術，使其適合多種應用。IntelliSCAN 20使用了經典的三軸電動機掃描系統，其中包括兩個基於電流計的掃描儀和第三個線性電動機驅動級。掃描儀具有高速和高精度的步長，而線性級為晶圓的靈活定位提供了廣闊的視野。這三個軸可以同時移動，從而實現高吞吐量和晶圓位置的動態控制。SCANLAB intelliSCAN 20有一系列鏡頭選項,支持從10 X到2000X的各種放大倍數。這使得它非常適合用於高分辨率成像、光刻和抗蝕劑制圖等過程。鏡片的低像差確保了盡可能高的精確定位成像和抵抗圖樣。IntelliSCAN 20具有高精度8位步進電機,可提供高分辨率定位,以實現最高精度。電機還提供各種調整選項,以適應應用程序的特定要求。SCANLAB intelliSCAN 20具有高級功能,如OverScan、節能、自動校準、清潔設置和緊湊設計。OverScan可實現數字對齊,並在晶圓更改時快速重新調整系統。「節能」功能在設置間隔後自動使系統睡眠,從而節省能源。自動校準確保intelliSCAN 20操作的準確性和一致性。Clean Setup提供不需要任何外部調整的低維護解決方案。Compact Design允許SCANLAB intelliSCAN 20高效使用空間,並使其適合其他應用,如輕量級臺式顯微鏡和高通量生產。總體而言,intelliSCAN 20是一種高性能晶圓步進器,可為各種微電子應用提供精確的控制和高通量。它擁有一系列先進的功能和技術,可確保在一系列環境中準確可靠地運行。