二手 SCIVAX Flan-200-U100-4 #9205055 待售

SCIVAX Flan-200-U100-4是一種自動化晶片步進器，在光刻過程中提供半導體晶片的精確對準和曝光。它可以以200毫米的尺寸同時處理多達4個晶圓,這是現有的最大容量的晶圓。它為用戶提供了一個方便的環境,包括臺式布局、手動卡帶加載、最多4面對齊、批處理調度程序和高精度步進機制。Flan-200-U100-4可用於廣泛的光刻應用,如沈積、灰化和晶片蝕刻。它有一個寬廣的可調照明窗口，可以露出高達2000毫米尺寸的晶片。此外，它的光源和探測器單元被配置為確保晶圓的一致和準確的曝光和定向。Batch Scheduling System and Image Capture Program進一步簡化了步進器的操作。步進器具有幾個允許晶片可重復處理的功能,例如自動曝光程序、自動註冊、自動識別和自動順序曝光對齊。所有這些都使步進器能夠自動處理晶片,而無需用戶控制。此外,步進器的所有操作在低噪聲水平的支持下,步進器在使用過程中保持涼爽（33-35°C）,因為它具有高效的液體冷卻和空氣排氣系統。它的X/Y表非常精確,允許1um和0.1度對齊,在X和Y軸上都具有極好的可重復性,並具有功能齊全的教學界面,以便於對集成視覺系統整流程序進行編程。它有兩個光源來提供晶片的最佳曝光，一個是帶有1000W的汞-氙短弧燈，另一個是具有500W的選項的K氙燈，用於大緯度的曝光時間。步進器還包括一個AMHS Robot Contro Interface（ARC-2），用於自動準確地為曝光過程安裝晶片而無需人工幹預，以及一個自動化開發單元，用於檢測和檢測錯誤以獲得最佳晶片結果。作為其安全措施的一部分，SCIVAX Flan-200-U100-4設有一個緊急停止開關，在升起時自動停止光源和探測器裝置，以及一個過濾器，以阻擋操作過程中發出的危險紫外線。步進器還有一個內置的激光安全保護罩，可以提醒用戶註意任何感知到的危險，如果需要，可以自動關閉光源和探測器。Flan-200-U100-4是一種自動化的高精度晶片步進器,可提供半導體晶片的自動對準、曝光和配準。SCIVAX Flan-200-U100-4具有多種安全功能、用戶友好的界面和強大的構建能力,是光刻工藝的絕佳選擇。