二手 SCIVAX Flan-200-U100-4 #9209082 待售

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SCIVAX Flan-200-U100-4
已售出
ID: 9209082
Nano imprint.
SCIVAX Flan-200-U100-4是一種專門用於生產半導體元件的晶圓步進器。它是一種多用途的機器,能夠在各種材料中產生高精度、高性能的模式。該機具有200毫米四英寸晶圓級,額定功率高達100瓦。層對層精度在1微米以內,步進器提供低至0.4微米的高分辨率能力。該機器設計用於在晶片或基板層上制作精確的微觀特征和圖樣。它還能夠陣列高縱橫比結構。它配備了圖像放大器,有助於確保晶圓在處理過程中的準確定位和導航。光學系統設計用於亞微米精度的高速掃描。該機采用可變形狀區域板(VZP)成像系統,可實現最高的覆蓋精度。步進器非常適合各種應用,從MEMS器件制造到半導體器件封裝和基板布線。它能夠使用多種材料,包括聚合物、金屬和陶瓷。它在薄膜和厚膜上的性能都很好,並內置了幹蝕刻的支撐。步進器的最大圖案尺寸為200 x 200 mm,最大曝光率為0.4微米/秒,最大分辨率為0.2微米。步進器具有許多先進的分析工具,包括用於點大小和可檢測性的缺陷檢查工具。圖像強度工具可確保圖像準確且無噪聲。此外,步進器還具有自動校準功能,可隨時間推移幫助保持機器的精度。Flan-200-U100-4是一種先進的晶圓步進器,能夠在一系列材料上產生各種精確的微觀模式。它非常適合許多半導體生產要求,並提供卓越的準確性和性能。
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