二手 SVGL Micrascan MPT #9246179 待售

SVGL MicroScan MPT是一種全自動晶圓步進器，旨在降低非生產率，提高晶圓吞吐量，從過程開始。它提供了完全自動化、高速和可靠的混合產品處理功能。其軟件還允許晶片的精確定位和聚焦，以快速執行光刻應用。步進器采用雙軸運動控制，具有三個芯軸，具有卓越的精度和性能。其機械設計由先進的高分辨率檢流計掃描設備組成，可調節掃描速度和可調分辨率，可精確定位和瞄準晶片。其光學器件包括精密CCD相機、高分辨率鏡頭和高級光刻鏡頭，以獲得卓越的分辨率和精度。MicroScan MPT的控制軟件包括各種自動化的例行測試和反饋功能,可實現連續和精確的控制,以確保最高質量的打印。它提供了一系列生產監控功能,可提供步驟運動、晶圓對準和錯誤的詳細輸出。它還具有一系列數據記錄功能,允許用戶分析性能並發現任何潛在問題。步進器支持多種產品格式，從大幅面200毫米到300毫米晶圓，並利用廣泛的光刻模板庫。其自動設備診斷程序可監視所有故障,確保快速檢測和解決所有錯誤。MicroScan MPT專為高可靠性運行和快速循環時間而設計,以提高生產吞吐量。步進器包括一個強大的安全系統，包括緊急關閉功能，在緊急情況下保護人員和設備。步進器的用戶友好界面和簡單的設置使得開始使用設備變得容易。其先進的控制單元能夠在處理過程中對所有機器參數進行可靠的配置和實時監控。該機器還包括一個原位跟蹤,用於跟蹤流程、數據記錄和歷史存檔的每個步驟中的晶圓。總體而言,SVGL MicroScan MPT為異構過程提供了可靠可靠的解決方案,允許高效的處理時間和高精度的打印。步進器提供高分辨率、可重復的結果和全面的診斷,以確保高質量的生產和可靠的操作。