二手 TAMARACK M304 #9398334 待售

TAMARACK M304是專門為微芯片行業設計的先進可靠的光學步進器。步進器采用高精度的放置設備，在設備完成過程中確保最高精度和可重復精度。其多相機、五軸運動系統可實現快速吞吐率，方便高產產品生產。M304具有200毫米晶片級,可處理尺寸可達8英寸的晶片。步進器還包括用於控制每個晶片位置的模具衰減的定制曝光柱。此曝光列還可實現高保真寬帶曝光,從而減少曝光過程中出現曝光錯誤的機會。此外,集成的微透鏡掃描單元有助於最大程度地減少像素像差,並確保每個模具都能獲得準確的曝光。機器的高柔性級補償機制可以糾正高達1微米的錯位，有助於減少晶圓報廢。該機還具有50 kHz掃描速度的多軸掃描級,便於在每個晶圓站點進行高速動態掃描。此外,該工具的多分辨率成像路徑支持超高分辨率成像,並能夠在不到1秒的時間內獲取圖像。此步進器還提供高級目標識別和焦點開發算法,這些算法旨在幫助減少曝光時間和焦點錯誤。而且，資產有一個多區劑量控制模型，允許使用者調整每個晶圓位點的劑量水平。步進器還包括極其精確和可重復的真空和載荷/卸載功能,這些功能對於圖像放置精度和吞吐量至關重要。TAMARACK M304提供高級功能和極高的精度,非常適合用於微芯片應用。其五軸運動設備和專有的曝光柱提供高通量和優異的產量，而其掃描和劑量控制功能則確保了準確曝光。它的特點也使得有經驗的操作員和那些新的晶圓步進技術易於使用。