二手 ULTRATECH 1000/ 1100/ 1500 #9111083 待售

來自ULTRATECH的ULTRATECH系列光刻機在光刻加工方面處於世界領先地位，自推出以來一直是行業標準。ULTRATECH 1000/1100/1500都是一代高性能的步進重復掃描設備，非常適合制作大量的小（或大）芯片圖樣。ULTRATECH晶圓步進器是循環時間短、吞吐量快的步進系統。其運動控制單元采用精密直線電動機進行平滑、精確的運動，確保了高精度的過度掃描。激光掃描儀提供了更精確的掃描焦點，以優化過程，並降低了標線掩蔽的成本。1000/1100/1500還提供了先進的圖像處理方法,包括集成的預對齊和後對齊處理,以優化圖像傳輸精度。ULTRATECH還具有帶有直觀圖形用戶界面的軟件,以便於操作。該機配備大型液晶觸摸面板，讓操作員輕松調整工藝參數。該軟件包括一個集成的配方編輯器，允許用戶快速、輕松地創建自定義處理配方。ULTRATECH系列還附有高精度的對齊機，可以讓用戶準確聚焦和檢索關鍵叠加信息。組成對準工具的磁鐵和電動機保證穩定準確的性能.ULTRATECH系列能夠以5-10 um的分辨率打印.該機能夠以高達每小時250個晶圓的吞吐率，使其適合大批量生產。它的可重復性確保了精確的批對批運動控制。總體而言,ULTRATECH 1000/1100/1500晶圓步進器是一種高性能、經濟實惠的光刻工具,用於芯片上的陣列電路。它具有很高的精度和可重復性，保證了每次芯片的精確陣列。