二手 ULTRATECH 1000 #9004070 待售

ULTRATECH 1000晶圓步進器設計用於高分辨率光刻。它采用了1微米的theta級，使用戶能夠在晶片上非常精確地對準和放置微型圖樣。1000擁有高度精密的光學設備，配有雙相機成像系統和獨特的亮度控制，可以自動調節每一張照片層的曝光水平。ULTRATECH 1000配備了超快速諧振掃描儀，可以在晶圓上的不同曝光場之間快速循環。它還采用了一種先進的正在申請專利的圖像變換算法，以提高晶圓圖像配準的準確性。該算法自動補償暴露過程中晶圓表面或溫度的微小變化引起的失真。此外,步進器還具有獲得專利的TurboChromatic雙波長LED光源,可用於不同的曝光設置。步進器還配備了其他幾個有助於其高精度的功能，如4軸掃描頭、可變深度掃描儀和獲得專利的Advanced Zone Scanning （AZS）功能。AZS功能使用戶能夠掃描晶片上的不同區域，從而擴大曝光範圍。此外,該單元還帶有一個內置校準單元,使用戶能夠定期調整曝光級別和設置。1000還適合在生產環境中使用，其獨特的內置高可靠性同步曝光領域。ULTRATECH 1000晶圓步進器具有幾個用戶友好的功能，例如基於Windows的視頻圖形操作軟件和圖形用戶界面。界面使控制曝光設置變得容易，並且可以在單點或多點曝光的情況下操作。此外,步進器還具有專有的同步擴展機,可幫助減少因重叠暴露而產生的粉飾效果。總體而言，1000晶圓步進器是一種先進但用戶友好的機器，能夠實現高精度的光刻過程。ULTRATECH 1000具有雙攝像機成像工具、AZS功能和許多其他功能,是企業級晶圓步進器,可為原型設計、生產和晶圓級封裝應用提供卓越的可重復性和分辨率。