二手 ULTRATECH 1000 #9023151 待售

ULTRATECH 1000是一種最先進的晶圓步進器，設計用於電鍍、擴散、蝕刻和其他集成電路制造過程中的光刻工藝步驟。在一個值得註意的發展中，它配備了卓越的創新功能組合，以實現高端性能。步進器具有過程靈活性和速度,具有高度可配置的光學和運動平臺。它由高性能伺服伺服電機提供動力,減少了在許多任務中完成芯片所需的時間。它還配備了加速和速度控制設備（A/S-C），在用於連續打印時提供無與倫比的性能。該系統具有電機速度、變焦和聚焦參數的獨特組合,可實現超高速打印速率。此外，1000人還配備了地形和雙向光刻技術級聯技術，可以進行特定於應用程序的控制和準確性。這為用戶提供了明確的暴露方向性,即使在復雜的設備制造步驟中也能獲得更高的產量和可靠性。先進的設備也非常適合在整個晶片上保持最高的均勻性，從而最大限度地重現工藝結果。該設備優越的曝光能力可以歸功於其最先進的「Centrisys」光學機器,它集光束拆分和象限曝光操作於一體。這使得軟接觸成像可以通過單個光學參數進行精確的表征。此外,ULTRATECH 1000還配備了功能強大且先進的軟件,能夠快速高效地控制步進器。MyWafer TM軟件和維護板為用戶提供了一個全面的控制環境,以輕松方便地配置曝光和對齊參數,並監控晶圓清潔和晶圓加載等時間過程。1000還具有用戶可更換的高強度長壽命閃光燈,以及可變現場曝光（VFE）選項,這兩種選項均確保了高質量的操作結果。最重要的是,該工具設計簡單、幹凈、可靠,並且需要最低限度的維護才能達到最高性能水平。這一切使ULTRATECH 1000成為滿足任何工業或學術光刻要求的理想解決方案。