二手 ULTRATECH 1000 #9151433 待售
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ULTRATECH 1000晶片步進器是一種高性能的光刻設備,設計用於在半導體晶片上繪制小的導電、介電和絕緣特性,薄至0.8 μ m。它采用先進的光子成像技術,在生產環境中實現最高分辨率,同時保持高吞吐量和準確的特征放置。1000使用專有的電子束感應沈積(EBID)系統實現卓越的圖像分辨率。該單元對單色光的恒定能量擴散產生垂直積分,選擇性地將材料沈積在晶圓上。沈積層形成精確的圖案,精確地再現了光刻中使用的掩模。本機設計精密快速處理大量基材。它具有一個單晶片負載端口,可容納各種晶圓尺寸和基板。這樣可以節省寶貴的生產時間並降低與裝載和卸載基板相關的成本。ULTRATECH 1000的自動化能力也有助於其高吞吐量。機械臂可以從負載端口插入和檢索晶片,以加快處理周期。晶片放置是利用先進的晶片跟蹤技術自動化的,作為完整光刻工作流程的一部分。通過允許並行處理多個晶片,進一步提高了吞吐量並節省了時間。為進一步提高吞吐量,1000配備了先進的控制能力。對所有過程進行電子監控,以檢測和糾正機器震動或熱膨脹造成的任何不對準。機器振動也可以與刀具的振動控制資產隔離.ULTRATECH 1000也是為了方便操作而設計的。它的自動定位模型考慮了所有的環境影響,以確保所產生的圖案與光刻中使用的掩模相同。此外,該設備還配備了直觀、菜單驅動的用戶界面,便於設置和操作。總體而言,1000是在半導體晶片上生產小型、高度精確特征的強大且高度先進的工具。憑借卓越的成像技術、快速的自動化和靈活的控制能力,它為用戶提供了卓越的吞吐量、分辨率和準確性。
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