二手 ULTRATECH 1000 #9187105 待售

製造商
ULTRATECH
模型
1000
ID: 9187105
Projection stepper.
ULTRATECH 1000是一種計算機控制的晶圓步進器,配有5軸級索引。步進器執行所有必要的過程來精確定位晶片以進行曝光,並且包括靜態和動態對齊選項。該機使用尖端、高速的電動機進行精確的晶圓運動,並在其所有操作中使用最高精度。1000的結構是用剛性材料建造的,以達到最大的耐用性和穩定性。ULTRATECH 1000具有易於操作的用戶友好控制器界面。無論晶圓的大小如何,它都能提供最高的對齊和圖像放置精度。這要歸功於其精確的步進電機、高分辨率編碼器和尖端的掃描控制設備。步進器能夠成像平面晶片或蝕刻晶片。為了獲得最高精度,1000使用了先進的成像系統,它可以精確檢測晶圓特征的所有細微差別。為了保證最高精度,步進器使用了一個新的透鏡單元,像所謂的叠加誤差那樣最大限度地減少了過程參數的出現。此外,如果過程的任何部分變得不可靠或不正確,此功能強大的步進器將能夠快速重新成像晶圓。ULTRATECH 1000還配備了自動裝載機,使得晶圓的裝卸不費力。此工具使用光傳感器來檢測晶圓的半徑並自動調整位移。它還使用伺服控制臂,以確保晶片在加載過程中正確就位。1000的控制器允許精確處理分辨率、曝光時間和電源設置。它還包括許多自動化功能,包括模式查看、自動對齊和內存保存功能。綜上所述,ULTRATECH 1000是一款功能強大的中高端晶圓步進器,專為曝光晶圓最精確準確的定位而設計。它具有先進的成像資產和新的鏡頭模型,以實現最高的準確性,用戶友好的控制器界面,自動加載設備,以及用於模式審查、自動對齊和內存保存功能的一系列自動化功能。
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