二手 ULTRATECH 1000 #9198399 待售
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ULTRATECH 1000是ULTRATECH Corporation製造的晶圓步進器，專為處理光掩模和晶圓而設計。它是一種高度精確的機器，分辨率為0.5微米，步長為0.1微米。它具有高精度、高維護的3軸驅動系統,可實現X軸和Y軸的亞微米運動,以及極低的熱漂移,以適應廣泛的應用。1000具有幾個功能,使其與其他晶圓步進器區分開來。它配備了一個5軸級，允許在掃描或傳輸圖樣時對晶片進行高精度對準和定位。5軸級還允許在晶圓步進過程中放置多個掩碼。ULTRATECH 1000還具有高精度自動對焦相機,有助於確保精確和精確的圖案位置和幾何形狀。1000還具有靜電卡盤,可用於保持敏感晶片以及晶片上的圖樣對齊標記,以精確定位和定向。靜電卡盤還有助於減少晶片在加工過程中的不需要的運動。ULTRATECH 1000能夠運行廣泛的晶圓步進過程，包括光刻和氧化物蝕刻。其出色的分辨率、高維護性、低漂移以及多掩模放置的可能性，使其成為微電子和納米電子等應用的理想選擇。總之,1000是一種精密的晶圓步進器,具有極好的精度和可靠性.其多種特性使其能夠處理廣泛的晶片步進器應用，其5軸級確保晶片和掩模的精確對準。其靜電卡盤有助於減少不必要的運動，並提供晶片的安全保持。所有這些特性和功能使其成為尋求最佳且經濟高效的解決方案以滿足晶圓步進器需求的公司的絕佳選擇。
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