二手 ULTRATECH 1000 #9217207 待售

ULTRATECH 1000是ULTRATECH製造的晶圓步進器。這種步進器是一種用途廣泛的機器，用於各種光刻工藝，包括抗剝離、沈積、蝕刻和接觸印刷。步進器由兩軸XY級組成，具有亞微米精度和精細定位對準能力。該設備具有高分辨率成像功能,能夠處理200毫米至375毫米的基板尺寸。1000包括用於精確對準的高級電動級、用於基板放置的XY真空卡盤和用於非接觸式實時對準的閉環激光計量系統。步進器采用先進的線性電機，扭矩大，響應時間快，速度和精度都很好。此外,該單元還利用大功率LED照明來確保最佳曝光精度。ULTRATECH 1000配備了計算機控制的激光自動對焦機，用於微調圖像精度和質量。激光自動對焦能夠檢測小圖像異常，確保整個視場的準確性。此外,步進器還配備了先進的數字伺服反饋工具,可在不移動舞臺的情況下進行精確定位。晶片步進器還具有高度可編程的光學和曝光系統，用於高級抗蝕劑和蝕刻優化。光學設備可確保使用各種透鏡和濾鏡進行適當的曝光。曝光模型能夠通過改變光線強度、持續時間和聚焦範圍等曝光參數，為廣泛的應用提供所需的劑量。1000利用混合動力驅動設備進行最佳無粘連操作。此功能可確保系統以最小的摩擦和振動運行,並提供卓越的精度和速度。此外,該設備還配備了高級控制軟件套件。該軟件為流程設置和控制提供了易於使用的功能,並允許在內部內存中進行作業編程和保存流程配方。ULTRATECH 1000是一種健壯、高性能的晶圓步進器，可用於各種光刻工藝。憑借其先進的直線電機、超精密激光自動對焦、光學機器和集成控制軟件，1000是晶圓處理和光刻應用的絕佳選擇。