二手 ULTRATECH 1000 #9396748 待售

ULTRATECH 1000是一種高精度晶圓步進器，旨在為先進集成電路器件的制造提供卓越的性能和可重復性。步進器提供快速、精確的光刻成像,以實現高產生產的精確陣列和模具放置。1000融合了先進的模式識別和先進的光學系統，包括數碼自動對焦、直接捕獲相機、空氣軸承階段以及先進的基板和模具映射。其廣域成像設備具有真正的多陣列功能,允許通過一個陣列模具進行高效多曝光。極紫外線（EUV）源利用300瓦光燈，能夠產生高達535 nm的波長分辨率。ULTRATECH 1000具有令人印象深刻的直線電機驅動級,可保證高達341毫米/秒的快速掃描速度。其快速鎖定可交換光學器件提供了高達10微米間距的卓越成像能力。Laser VisionMap System技術提供高達0.1 µm的視覺引導自動配準,以實現模具放置精度。EUV光源可以與可選的停轉運動標線處理機制集成，以確保標線交換時的最小時間浪費。該裝置的MAGNA-Ceal N2清除裝置確保了可靠的防止空氣汙染。步進器的現代集成控制功能包括刀具報警傳感、自動模式放置、自動對焦校準、叠加管理機和符合SEMI的晶圓幾何。其刀具出血優化特性控制氣軸承，以提高刀具的性能。1000還提供了改進的缺陷處理功能,並支持多傳感器和獨立真空控制。ULTRATECH 1000憑借其先進技術的高度集成,為先進的IC設備制造工藝提供了卓越的可重復性和更高的收率。它具有快速的工藝性能和高水平的生產吞吐量,能夠快速制作原型,並能夠經濟高效地生產多層設備。步進器配備了先進的軟件模塊，與幾種光刻制造工具兼容。