二手 ULTRATECH 1000W #45712 待售

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ULTRATECH 1000W
已售出
製造商
ULTRATECH
模型
1000W
ID: 45712
優質的: 1985
stepper, Retrofit 4" stage to 6" Currently stored in a warehouse 1985 vintage.
ULTRATECH 1000W是一種晶圓步進器,一種用於半導體制造的光刻器件,用於將電路模式轉移到半導體基板上。1000W具有先進的成像能力,其特點是35mm膠片格式的激光照明曝光面積可達160 um平方英尺,光刻顯示器的光斑尺寸可達8.5 um。ULTRATECH 1000W還配備了自動晶圓探針和高性能自動對準電動機,以實現最高的對準精度,使其成為光刻生產和原型制作的有用工具。1000W有一個自動晶片處理設備,可容納多達4個晶片,並設有一個內置的氣泡密封室,在轉移過程中保護基板。該系統允許高產加工和改進邊緣配位,有助於確保整個基板上均勻的薄膜厚度。自動晶圓處理裝置還具有優於0.1 um的晶圓對準重復性。此外,冷卻噴嘴還集成到機器中,以保持曝光期間的環境溫度水平一致。ULTRATECH 1000W還配備了高端UV激光工具,可為要求苛刻的曝光應用提供高達20 mW的高功率照明。曝光資產允許曝光時間為0.5到4秒,精確曝光時間為0.01秒增量。此外,1000W還有一個自動曝光校準模型,可確保所有曝光參數,包括光斑大小、曝光時間和劑量,在曝光前都在容許範圍內。ULTRATECH 1000W還包含一整套軟件和硬件控制選項,使用戶能夠自定義和控制設備以獲得最佳效果。用戶可以對曝光時間和劑量以及放大成像的曝光速度進行完全曝光參數控制。此外,1000W還具有FlexSpin自動加載程序和卸載器功能,可自動加載和卸載晶片,從而縮短設置時間並提高整體吞吐量。ULTRATECH 1000W晶圓步進器是為滿足現代半導體工業的需求而設計的,它以經濟高效和可靠的封裝提供高的曝光精度和控制。它具有多種多樣的功能集和用戶友好的控制選項,使其成為工業和研究環境的絕佳選擇。
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